F08700 - SEMI F87 - Specification for Dimension of Three Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems StdPbc-0426 このスタンダードはフラットパネルディスプレイの製造分野等にも適用できるが，これらの分野への具体的な適用は本ドキュメント作成時の適用範囲からは除外されている。

このスタンダードはフラットパネルディスプレイの製造分野等にも適用できるが，これらの分野への具体的な適用は本ドキュメント作成時の適用範囲からは除外されている。

本スタンダードは，Global Physical Interfaces and Carriers Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年4月30日，Global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww

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F08700 - SEMI F87 - Specification for Dimension of Three Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems StdPbc-0426 このスタンダードはフラットパネルディスプレイの製造分野等にも適用できるが，これらの分野への具体的な適用は本ドキュメント作成時の適用範囲からは除外されている。NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. 1 Purpose 1. 1 This Standard establishes the properties and physical dimensions of two port components for 1. 125 inch type surface mount gas distribution system. 2 Scope 2. 1 This Standard includes common requirements,