S00900 - SEMI S9 - Guide to Electrical Design Verification Tests for Semiconductor Manufacturing Equipment that have Been Moved to SEMI S22 Revision:SEMI S9-0307 (Withdrawn 0211) - Withdrawn 本仕様はセンサ／アクチュエータネットワークのためのSEMIスタンダードを実装するために規定された一連のスタンダードの一つである。本仕様の具体的な目的は，半導体装置センサ／アクチュエータ通信ネットワーク 上にあるエンドポイントデバイス（EPD）すべてに共通したデバイスオブジェクトで構成される，ネットワークに左右されないアプリケーションモデルを記述することである。

本仕様はセンサ／アクチュエータネットワークのためのSEMIスタンダードを実装するために規定された一連のスタンダードの一つである。本仕様の具体的な目的は，半導体装置センサ／アクチュエータ通信ネットワーク 上にあるエンドポイントデバイス（EPD）すべてに共通したデバイスオブジェクトで構成される，ネットワークに左右されないアプリケーションモデルを記述することである。

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