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they describe the SafetyBUS p protocol
出荷管理 (STC) 限界を規定および維持する目的で，プロセスデータから統計的に導かれる限界値を定量的に決定するためのガイドラインを提示する。
isopropyl alcohol (IPA) and ultrapure water (UPW)
operational policy and constraints
これらの測定が初めて広く使われる様になって以降，プロセス技術やウェーハ作製法が変化したことは，テスト片構造作製と解析方法の変更が必要なことを示している。本試験方法の目的は，この変更を明確にすることである。それは，測定，フラットバンド電圧―絶縁膜厚法より得たゲート電極有効仕事関数データの測定，解析と報告を含む。
S02100 - SEMI S21 - Safety Guideline for Worker Protection Revision:SEMI S21-1103 - Superseded they describe the SafetyBUS pThis Safety Guideline was technically approved by the Environmental, Health & Safety Global Technical Committee. This edition was approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on February 1, 2018. Available at www. semiviews. org and www. semi. org in August 2018; originally published October 2003; previously published June 2012. This Safety Guideline identifies preferred methods for the protection of persons from safety and