E15800 - SEMI E158 - Specification for Mechanical Features of Fab Wafer Carrier Used to Transport and Store 450 mm Wafers (450 FOUP) and Kinematic Coupling StdPbc-1224 本文書の目的は，高純度ガス配分システム中に設置されるプロセスパネルのテスト方法を定義することである。このテスト方法を応用すれば，この設置に必要な適格性に関してテストされたプロセスパネル相互間で比較可能なデータを得ることができると予想される。

本文書の目的は，高純度ガス配分システム中に設置されるプロセスパネルのテスト方法を定義することである。このテスト方法を応用すれば，この設置に必要な適格性に関してテストされたプロセスパネル相互間で比較可能なデータを得ることができると予想される。

Logging might also include the protocol message header

1  The purpose of this Guide is make recommendations to help assure that manufacturing equipment used for manufacturing semiconductor devices will operate reliably without failures caused by electromagnetic interference (EMI)

20-0316 (technical revision)

This edition was approved for publication by the global Audits & Reviews Subcommittee on May 16

E15800 - SEMI E158 - Specification for Mechanical Features of Fab Wafer Carrier Used to Transport and Store 450 mm Wafers (450 FOUP) and Kinematic Coupling StdPbc-1224 本文書の目的は，高純度ガス配分システム中に設置されるプロセスパネルのテスト方法を定義することである。このテスト方法を応用すれば，この設置に必要な適格性に関してテストされたプロセスパネル相互間で比較可能なデータを得ることができると予想される。The purpose of this Document is to establish basic physical dimensions for the carriers intended to be used to transport and store 450 mm wafers, as specified by SEMI M74, within semiconductor device manufacturing facilities. This Document is intended to define the reference planes for the dimensions of the carriers and the load port features that will interact with the carriers. This Document is intended to define a set of requirements to ensure